服务热线
全国客服热线:

024-83186298

行业动态

涂胶显影设备是干什么活的

国产涂胶显影设备是干什么活的?简单的说就是把光刻胶均匀撒在硅片表面,然后烤一烤生成超薄胶膜;在光刻机完成曝光后,再进行图形的显影,所以要与光刻机设备联机作业。

作为光刻机的输入(曝光前光刻胶涂覆)和输出(曝光后图形的显影),涂胶/显影机的性能不仅直接影响到细微曝光图案的形成,其显影工艺的图形质量和缺陷控制对后续诸如蚀刻、离子注入等诸多工艺中图形转移的结果也有深刻影响。

荷兰EUV光刻机一直拖延供货,国产光刻机等设备大力研发中,相信我们的中国科技精英一定会不负众望逐一打破西方的封锁。

联系我们

联系人:魏经理

手 机:13940431475

邮 箱:sale@tdsemi.com.cn

公 司:沈阳芯达科技有限公司

地 址:沈阳市苏家屯区桂竹香街68号智能制造产业园E3

涂胶显影设备技术服务热线