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湿法去胶设备能够提高封装产品的质量和可靠性

湿法去胶设备是一种专门用于去除封装元件表面胶水残留的设备,它采用湿法处理的方式,能够高效地去除胶水残留,保证封装元件的表面光洁度和粘接性,从而提高封装产品的质量和可靠性。随着电子封装技术的不断发展,封装元件的质量要求也越来越高,尤其是在微电子器件封装领域,胶水残留对元件性能和可靠性会产生很大的影响。因此,湿法去胶设备的应用越来越广泛。


湿法去胶设备主要由槽式去胶单元和单片去胶腔体两部分组成。槽式去胶单元是将药液浸泡晶圆,通过药液的浸泡来去除晶圆表面的胶水残留。该槽体一次可容纳多片晶圆,从而提高了设备的产能。而单片去胶腔体则是将药液喷洒在旋转晶圆表面,更好地独立控制每片晶圆的去胶工艺。这种双重的去胶方式,保证了去胶效果的准确性和稳定性。


湿法去胶设备具有许多优势。首先,它使用便捷,操作简单,能够方便地控制药液的浸泡和喷洒过程。其次,湿法去胶设备采用精确的药液控制,可以根据实际需要进行药液浸泡和喷洒,从而更好地满足不同封装元件的去胶需求。此外,湿法去胶设备还具有药液回收使用的功能,可以减少成本,提高资源利用效率。另外,该设备还采用了多层过滤功能,能够有效去除药液中的杂质,保证了去胶过程的稳定性和可靠性。


湿法去胶设备的特性和规格也很丰富。它兼容8吋和12吋晶圆的处理,可以适应不同尺寸的封装元件。同时,该设备配有浸泡槽体和单片去胶腔体,可以满足不同去胶工艺的需求。浸泡槽体可以搭配多种药液进行双面清洗工艺,而单片去胶腔体则可以根据需要搭载空间交变相位移兆声波(SAPS)组件,进一步提高去胶效果。此外,湿法去胶设备还可选配高压solvent/DIW喷洗等专用仪器,以满足不同行业的特殊要求。


除了在半导体行业中的应用,湿法去胶设备还广泛应用于其他领域。例如,它可以用于煤炭行业的清洗、消毒和去胶处理,保障煤炭产品的质量和可靠性。在电化学仪器、仪器专用配件、光学仪器及设备等领域,湿法去胶设备也发挥着重要的作用。此外,它还可以应用于试验机、X射线仪器、常用器具/玻璃耗材等领域,为实验室研究和生产提供可靠的去胶解决方案。


综上所述,湿法去胶设备是一种高效的设备,能够去除封装元件表面的胶水残留,保证封装元件的表面光洁度和粘接性,提高封装产品的质量和可靠性。它具有使用便捷、精确的药液控制、药液回收使用、多层过滤等优势,广泛应用于半导体行业以及其他领域。随着科技的不断进步和应用的不断扩大,相信湿法去胶设备将在未来发挥更重要的作用,推动各行业的发展。

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