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涂胶显影机

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中道涂胶显影机

  • TDC1200/800/600
  • C型产品
  • C型架构产品满足中等量产需要,单元模块环绕Robot设计,Coater/Developer/AD/HP/CP等单元灵活组合,可选辅助功能配件实现不同工艺生产需求,满足半导体前道/高端封装/MEMS/LED等不同工艺生产的客户
 
  C型架构产品满足中等量产需要,单元模块环绕Robot设计,Coater/Developer/AD/HP/CP等单元灵活组合,可选辅助功能配件实现不同工艺生产需求,满足半导体前道/高端封装/MEMS/LED等不同工艺生产的客户需求。
 
  . 适用于6英寸,8英寸或12英寸产品。
 
  . 基材:硅晶圆,玻璃,蓝宝石片,砷化镓等(柔性基材需要特殊定制)。
 
  . 适用于Krf,i-line,etc产品生产。
 
  . 适用于Package,PI,SOD,etc产品生产。
 
  . 模块化的单元便于维护。
 
  . 图形化的人机交互界面。
 

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