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涂胶显影机设备的前景

  涂胶显影机设备是芯片制程中必不可少的处理设备,利用机械手实现晶圆在各系统间的传输和加工,与光刻机达成完美配合从而完成晶圆的光刻胶涂覆、固化、显影等工艺过程。作为光刻机的输入即曝光前光刻胶涂覆和输出即曝光后图形的显影,涂胶显影机的性能不仅对细微曝光处的形成造成直接影响,而且其显影工艺的图形质量和误差控制对后续蚀刻、离子注入工艺中的图形转移结果也有着深刻的影响。
  半导体生产中有前道工艺和后道工艺, 前道工艺指的是从硅片加工开始直到在硅片上制成集成电路结束的工艺流程。涂胶显影设备作为集成电路制造前道晶圆加工环节的重要工艺设备,在晶圆厂设备采购中占有十分重要的地位。近年来芯片的发展一度成为各国间的角逐点,带动全球晶圆厂设备的需求,也使得全球前道涂胶显影设备份额呈现增长态势。

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